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產品詳細

表面精度粗糙儀SD

 

表面精度粗糙儀SD

 

型號 SURFCOM NEX
12 13 14 15 22 23 24 25
驅動部  X軸(L:測量長度mm) 感應方式 線性光柵尺
直線度精度 搭載雙模式傳感器的混合檢測器時(μm) (0.05 + 1.0L/1000)※標準測臂時
輪廓測量用高精度檢測器使用時 (μm/mm) 1.0/100 2.0/200
輪廓測量用通用檢測器使用時 (μm/mm) 1.0/100 2.0/200
粗糙度測量用傳感器使用時 (μm) ( 0.05 + 1.0L/1000)
X軸指示精度 (μm) :橫方向 ± ( 1.0 + 1.0L/100 ) ※100mm驅動部/輪廓測量時
分機能 (μm) 0.016
速度 (mm/s) 移動時 0.03 ~ 60
測量時 0.03 ~ 20
傾斜角度  搭載雙模式傳感器的混合檢測器時 ± 10(傾斜裝置選配)
上記以外 ± 15(傾斜裝置選配)
測量臺 立柱 速度 (mm/s) 移動時 Max. 10
底座 材質 輝長巖
         
檢測器

色综合亚洲欧美图片区搭載雙模式傳感器的混合檢測器

(E-DT-CR14A) 

測量范圍 Z軸 (mm) :縱方向 5.0(標準測臂)、10.0(2倍測臂)
粗糙度 感應方式 差動電感
測量范圍 (mm) 0.05 ~ 5.0
測量分辨率 (nm) 1.0 ~ 100
輪廓測量(H :測量高mm) 感應方式 高精度光柵尺
測量范圍 (mm) 5.0
測量分辨率 (nm) 0.015(全量程)
指示精度 (μm) :縱方向 ±(1.0 + |2H|/100)※LH = 50 mm測針時
測針 粗糙度輪廓   兩用 型號 DM840471(LH = 50 mm、標準測臂)
測量力(mN) 0.75
測針材質 金剛石
測針形狀 2 μmR / 60 ° 圓錐
輪廓用 型號 DM48775(LH = 100 mm、2倍測臂)
測量力(mN) 4.0
測針材質 超硬合金 
測針形狀 25 μmR / 24 ° 圓錐
交換方式 交換式
共通機能 上下測量/上側限位檢測安全機構/縮回功能
         

色综合亚洲欧美图片区輪廓測量用           

通用檢測器

(E-DT-CH18A)

測量范圍 Z軸 (mm) :縱方向 60.0
輪廓測量              (H :測量高mm) 感應方式 高精度光柵尺
測量范圍 (mm) 60.0
測量分辨率 (μm)  0.04(全量程)
指示精度 (μm) :縱方向 ±(1.5+|2H|/100)
機能 上下測量/碰撞感應安全機構/縮回功能
測針 輪廓用 型號 DM45505
交換方式 交換式
測量力(mN) 10 ~ 30(手動調整)
測針材質 超硬合金 
測針形狀 25 μmR / 24 ° 圓錐
         

輪廓測量用

色综合亚洲欧美图片区通用檢測器 

(E-DT-CH19A)

測量范圍 Z軸 (mm) :縱方向 60.0
輪廓測量              (H :測量高mm) 感應方式 高精度光柵尺
測量范圍 (mm) 60.0
測量分辨率 (μm)  0.02(全量程)
指示精度 (μm) :縱方向 ±(0.8+|2H|/100)
機能 上下測量/碰撞感應安全機構/縮回功能
測針 輪廓用 型號 DM45505
交換方式 交換式
測量力(mN) 2 ~ 30(ACCTee設定)
測針材質 超硬合金 
測針形狀 25 μmR / 24 ° 圓錐
         

粗糙度測量用

傳感器       

(E-DT-SSO1A)

測量范圍 Z軸 (mm) :縱方向 1000.0
粗糙度測量 感應方式 差動電感
測量范圍 (mm) 6.4 ~ 1000
測量分辨率 (μm)  0.02(全量程)
機能 向下/向上測量/上側限位感應安全機構
測針 粗糙度用 型號 DM443801
交換方式 交換式
測量力(mN) 0.75
測針材質 金剛石
測針形狀 2 μmR / 60 ° 圓錐
         
其他
電源 電壓(V)、周波數(Hz) 單相 AC100 ~ 240、50/60
消費電力 (VA) Max. 670
空氣源(除振臺) 供給圧力 (MPa) 0.45 ~ 0.7
使用圧力 (MPa) 0.4
空氣消費量 (L/min) 0.1(Max. 10)
供給位置 本體背面
氣源接頭直徑 Rc1/4 公頭 (外徑φ 6 mm 氣管用快速接頭)
設置·使用環境 溫度 精度保證溫度 (℃ ) 20 ± 5 / NEX030、040檢測器裝著時為20 ± 5
動作保證溫度 (℃ ) 10 ~ 30
保管溫度 (℃ ) 5 ~ 40
濕度 動作保證濕度 (%) 40 ~ 80(不結露)
保管濕度 (%) 80 以下(不結露)
※  電源、氣源及快速接頭,必須事先準備好。
※  供給電源必須有接地。
※  精度保證的溫度変化率為±0.5℃ /1小時內、0.1℃ /1測量時間以內。
※  規格的記載事項、為了產品優化不能拒絕變更。

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